簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "郭東昊".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="氮摻雜"


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    利用電子迴旋共振與射頻混成電漿化學氣相沉積系統製備氮摻雜類鑽石碳薄膜
    • 材料科學與工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 陳柏霖 指導教授: 柯文政
    • 類鑽碳膜(Diamond-like carbon, DLC)具有高硬度、高絕緣性、高生物相容性、高化學惰性和導熱性等優點。本研究中,使用ECR電漿與RF電漿組成之混成式電漿化學氣相沉積系統( Hyb…
    • 點閱:233下載:1

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    反應式濺鍍法之不同陶金靶材及氧氣流量對氮摻雜氧化銦鎵鋅薄膜的影響
    • 材料科學與工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 沈倢汝 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以含氮化物粉體的方式將N摻雜在IGZO前驅粉體中,並利用本實驗的真空熱壓機壓製而成N摻雜IGZO (IGZNO)靶材,經濺鍍獲得以N原子取代O原子的位置獲得N摻雜IGZO薄膜,期望藉由…
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